台積電18廠用再生水 陳美伶:符合先進製程所需

發稿時間:2018/04/23 17:07

最新更新:2018/04/23 17:07

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(中央社記者陳政偉台北23日電)台積電南科先進製程新廠,首度將再生水運用工業生產引發疑慮,國發會主委陳美伶表示,已藉由督導平台關注,為配合產業生產需求,再生水標準符合南科相關先進製程所需。

陳美伶同時強調,一旦有異常情況會啟動緊急供水措施,對於製程及良率將有更高保障。

台積電晶圓18廠落腳南科,政府承諾會穩定供應水電,提出運用再生水方案,由於目前半導體晶圓生產都是用純水,台積電晶圓18廠使用再生水,市場關注是否會影響晶圓廠的生產品質與良率。

國家發展委員會主委陳美伶接受中央社記者訪問時表示,各項產業生產用水需配合產業生產需求,對於南科先進製程用水需求及標準,討論使用再生水時即與用水端商議過供水品質及標準,以兩段式RO(逆滲透)作為供水規劃,相關水質應可符合南科相關先進製程所需。

陳美伶解釋,去年就已成立的「南科先進製程環境建置案進度督導平台」,是針對整個台南科學園區的先進製程成立,跨中央相關部會及台南市政府,主要是解決影響產業經營的關鍵問題。

陳美伶說,為協助業者排除投資障礙,行政院長賴清德主持多次加速投資台灣專案會議,就是為解決目前產業遇到的問題,除了南科先進製程,目前也針對中科園區議題解決處理中。

此外,南科管理局副局長蘇振綱受訪時指出,南科先進製程不只台積電部分,也有許多廠商需要使用到再生水,在會議中也針對這項議題協調處理,確保廠商使用需求。

蘇振綱說,針對廠商遇到的產業需求,從去年下半年就陸續召開會議並追蹤進度,因為先進製程廠商都是台灣重大投資,除蒐集廠商需求細節,也需要掌握進度,與中央部會與地方政府間進行協調。

台積電5奈米新廠晶圓18廠,是全球第一家進入5奈米製程的晶圓廠,資本投資新台幣5000億元,計劃在2020年投入生產。

台積電3奈米、5奈米廠先後確定落腳南部科學工業園區,面對水、電需求,台南市政府先在去年4月啟用曾文淨水場,每天增加2萬噸供水,也將永康污水處理廠升級再生水廠,預計2020年,每天可供應1.5萬噸工業用水。(編輯:陳永昌/林淑媛)1070423

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