艾司摩爾EUV機台出貨台客戶

（中央社記者張建中台北3日電）半導體設備廠艾司摩爾(ASML)亞太區技術行銷協理鄭國偉表示，第3代極紫外光(EUV)機台已出貨6台；其中，台灣地區至少出貨1台。

鄭國偉今天接受媒體訪問時指出，ASML的EUV機台發展已有不錯進展，已有2家客戶晶圓處理能力測試結果達每天曝光超過600片晶圓。

他說，ASML的EUV機台預計2016年底將達每天曝光1500片晶圓的處理能力，協助客戶用EUV機台量產10奈米製程。

鄭國偉表示，第3代EUV機台NXE：3300B已出貨6台，其中，台灣地區至少出貨1台；鄭國偉說，當時出貨台灣客戶曾出動11架次747飛機載運。

鄭國偉指出，ASML今年下半年至明年初將再出貨5台NXE：3300B。他並表示，第4代EUV機台NXE：3350正組裝中，預計明年可出貨。1030903

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