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搶進台積電綠色供應鏈 光洋科首家本土靶材大廠

最新更新:2020/05/29 15:09

(中央社記者張建中新竹29日電)靶材廠光洋科搶進台積電綠色供應鏈,雙方合作成功將製程廢棄資源,再製成靶材,並導入量產產線,此舉也讓光洋科成為台灣首家供應高階半導體前段製程靶材業者。

雙方選在台中科學園區的台積電晶圓15A廠合作,推動硫酸銅廢液與殘靶材2項製程廢棄物資源活化專案,開發利用再生資源為靶材原料的再製技術,首次成功時機點為民國107年導入台積電成熟製程,2年後,成功導入先進製程。

台積電資材供應鏈管理處處長柯宗杰表示,透過和光洋科的合作,成功開創濺鍍靶材的循環經濟模式,為半導體材料製造及使用寫下嶄新一頁。

台積電每年成功減少1800噸廢液,並達成120顆殘靶材再生,實現廢棄物產出最小化、資源循環使用最大化的廢棄物管理目標。光洋科則成為國內首家供應高階半導體前段製程靶材的廠商。

台積電積極活化製程產出的廢棄資源,轉製成可直接提供晶圓製造或販售給其他工業使用的產品,108年廢棄物回收率達96%,由原先的廢棄資源產生者,搖身一變成為循環經濟的執行者。(編輯:潘羿菁)1090529

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