搶進台積電綠色供應鏈 光洋科首家本土靶材大廠

（中央社記者張建中新竹29日電）靶材廠光洋科搶進台積電綠色供應鏈，雙方合作成功將製程廢棄資源，再製成靶材，並導入量產產線，此舉也讓光洋科成為台灣首家供應高階半導體前段製程靶材業者。

雙方選在台中科學園區的台積電晶圓15A廠合作，推動硫酸銅廢液與殘靶材2項製程廢棄物資源活化專案，開發利用再生資源為靶材原料的再製技術，首次成功時機點為民國107年導入台積電成熟製程，2年後，成功導入先進製程。

台積電資材供應鏈管理處處長柯宗杰表示，透過和光洋科的合作，成功開創濺鍍靶材的循環經濟模式，為半導體材料製造及使用寫下嶄新一頁。

台積電每年成功減少1800噸廢液，並達成120顆殘靶材再生，實現廢棄物產出最小化、資源循環使用最大化的廢棄物管理目標。光洋科則成為國內首家供應高階半導體前段製程靶材的廠商。

台積電積極活化製程產出的廢棄資源，轉製成可直接提供晶圓製造或販售給其他工業使用的產品，108年廢棄物回收率達96%，由原先的廢棄資源產生者，搖身一變成為循環經濟的執行者。（編輯：潘羿菁）1090529

本網站之文字、圖片及影音，非經授權，不得轉載、公開播送或公開傳輸及利用。