ASML柏林廠火警 EUV光學零組件供應恐受影響

（中央社記者張建中新竹5日電）微影設備商艾司摩爾（ASML）德國柏林工廠日前發生火警，集邦科技認為，可能影響極紫外光（EUV）相關的光學零組件供應。

集邦科技表示，ASML的柏林廠占地3.2萬平方公尺，其中約200平方公尺廠區受火警影響。這廠區主要製造曝光機中所需的光學相關零組件，如晶圓台、光罩吸盤和反射鏡，當中用以固定光罩的光罩吸盤處於緊缺狀態。

集邦科技指出，ASML柏林廠生產的零組件以供應EUV機台較多，且以晶圓代工的需求占多數。若因火災而造成零組件交期有所延後，ASML不排除可能優先分配主要的產出支援晶圓代工訂單。

此外，ASML的EUV機台交期落在約12至18個月，集邦科技表示，因為設備交期較長，ASML有機會在設備組裝時，等待柏林廠所損失的相關零組件重新製造完成。

集邦科技指出，ASML所需的零組件不排除透過其他廠區取得，實際對EUV機台供應的影響仍有待進一步觀察。（編輯：楊凱翔）1110105

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