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美國Advanced Energy公司宣布為電漿的工業化應用提供Alta數位化控制的射頻電源能量傳輸平臺

發稿時間:2022/05/17 13:36:55

(中央社訊息服務20220517 13:36:55)全新的射頻電源和可選檔位匹配器為下一代電漿製程提供精準的重複控制和動態回應

科羅拉多州丹佛--(美國商業資訊)--美國Advanced Energy公司(那斯達克:AEIS)是高度工程化的精密電源轉換、測量和控制解決方案的全球領導者,今天宣佈推出一款綜合的射頻電源傳輸解決方案,該方案結合了先進的數位控制電源和精確的數位阻抗匹配網路。針對薄膜工業應用設計的ALTA™平臺具有超強適應能力及控制精確性和重複性,增強了製程穩定性並提供最佳產能。

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ALTA平臺包含了13.56MHz的機架式電源,功率範圍1.5KW至6KW,以及一個13.56MHz的抽頭數位式匹配網路。該系列產品針對不同產業電漿製程對精度,可靠性和重複性上的要求進行了最佳化。這些產業包括太陽能電池面板、平面顯示器、精密光學元件和汽車玻璃製造。

美國Advanced Energy公司電漿電源產品資深市場行銷總監Dhaval Dhayatkar表示:「隨著薄膜製造技術的發展和電漿快速轉換成為常態,對結合精確的射頻控制和對電漿快速轉換的動態回應的電源解決方案的需求越來越大。ALTA電源提供了幾個先進的功能,包括頻率調整、功率和阻抗即時測量、嚴密的功率調節、電弧管理和相位同步。」

ALTA電源還能進行全數位控制和對快速電漿變化的動態回應,確保穩健、可靠的功率傳輸。ALTA匹配網路提供了調諧的多樣性,其多接頭線圈系統可輕鬆進行調諧,以適應不同阻抗範圍。重複回應能力可最大程度減少每個匹配器之間以及重複製程之間產生造成的功率偏差。

ALTA平臺透過利用先進的數位架構,能夠實現極其精確的過程測量和控制,以及與最先進的通訊介面(如EtherCAT和Profinet)的系統順暢整合。
有關詳細的產品資訊和技術規格,請造訪https://www.advancedenergy.com/products/plasma-power-generators/rf-plasma-generators/alta/

關於Advanced Energy
Advanced Energy(那斯達克:AEIS)致力於為任務關鍵型應用和製程設備設計並製造先進精密的電源轉換、測量和控制解決方案,這方面的技術一直領先世界。

AE一直為客戶提供各種電源解決方案,讓客戶可針對不同行業的各種複雜應用,開發各種創新產品,其中包括半導體設備、工業製品、生產設備、電信設備、資料中心計算系統和醫療護理設備。

憑藉廣泛而深厚的專業積澱和觸及全球的快速回應服務網路,AE力圖透過緊密的合作關係來滿足技術的快速發展、推動客戶的成長並助力技術的未來。AE總部位於美國科羅拉多州丹佛市,四十年來一直致力於為全球客戶提供盡善盡美的電源產品。

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Advanced Energy | Precision. Power. Performance.
免責聲明:本公告之原文版本乃官方授權版本。譯文僅供方便瞭解之用,煩請參照原文,原文版本乃唯一具法律效力之版本。

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