漢微科出嫁 ASML：雙方技術互補

（中央社記者張建中台北16日電）荷商艾司摩爾(ASML)將斥資新台幣1000億元收購漢微科，ASML認為，雙方量測技術將具互補效益，兩公司結合，將有利協助客戶強化製程控制並提高良率。