家登EUV光罩盒獲認證 接單滿載

（中央社記者張建中新竹11日電）傳載方案商家登今天宣布，新一代的G/GP Type版本極紫外光(EUV)光罩傳送盒通過艾司摩爾(ASML)認證，目前接單已滿載至明年第1季。

家登表示，在耗時近2年與ASML合作，已成功開發出新版本的EUV光罩傳送盒，並通過功能性、抗缺陷性及遠距運送等各項測試，正式取得ASML認證。

家登新通過ASML認證的G/GP Type EUV光罩傳送盒，可應用於ASML的最新曝光機NXE3400B及其他先進機台上。

根據ASML估計，至今年底可望完成18台EUV微影系統出貨，隨著第一批把EUV導入生產的客戶將於2019年進入量產階段，EUV系統出貨量可望快速成長，預期2019年將可出貨30台EUV系統。

隨著新版EUV光罩盒通過ASML認證，加上半導體廠即將把EUV導入生產，家登接單暢旺，產能將滿載至明年第1季，並將為明年營運注入成長新動能。（編輯：楊凱翔）1071211

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