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台積電改裝無塵室外氣空調箱 節電1.49億度

2022/5/31 11:45
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(中央社記者張建中新竹31日電)晶圓代工廠台積電致力精進能源使用效率,針對無塵室中的外氣空調箱洗滌加濕系統改裝創新的濕膜板設計,估計節電1.49億度,具體行動落實綠色製造。

台積電表示,傳統外氣空調箱噴霧加濕系統以水做為質量傳遞的媒介,水泵將水加壓霧化、再由噴嘴將水細化成特定直徑水顆粒,進氣與水顆粒經過慣性撞擊、質傳、溶解等作用而去除空氣中微汙染物,以維持無塵室的進氣品質。

因介質板噴霧加濕系統受限於空調箱尺寸,無法增加霧化水顆粒與空氣接觸時間,洗滌水泵用電量占無塵室空調氣水輸送用電量20%。

為提高能源使用效率,台積電攜手供應商共同研發濕膜板,藉由細水霧依附於濕膜板上形成大面積水膜,提高外氣滯留時間、增加氣流濕潤面積,使水膜可吸收更多外氣所含微汙染物,不僅強化洗滌效果,且水泵馬力變小,可減少80%用電量,達到節能效益。

台積電表示,截至民國111年5月,共完成既有廠區266台外氣空調箱濕模板改裝,同時列為新建廠標準設計,並導入413台新設外氣空調箱,估計節電1.49億度。

台積電計劃至111年年底既有廠區累計完成316台外氣空調箱改裝,估計將可增加節電1100萬度,新建廠區則持續進行新機導入行動,實踐綠色製造承諾,朝永續共好目標邁進。(編輯:翟思嘉)1110531

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