台積電攜供應商再生電子級二氧化碳　年減碳1200公噸

（中央社記者張建中新竹29日電）晶圓代工廠台積電與雙氧水供應商合作，針對生產過程中排放的尾氣進行碳捕捉與純化，轉化為符合半導體製程品質標準的電子級二氧化碳，再生電子級二氧化碳已成功導入晶圓14B廠，預估年減碳約1200公噸。

台積電在新出爐的ESG（環境、社會責任、公司治理）電子報中表示，雙氧水與電子級二氧化碳皆為半導體製程的重要化學品。生產雙氧水需要氫氣，而製氫過程會排放含有二氧化碳的尾氣。

為提升供應鏈永續性並實踐循環經濟，台積電與供應商共同規劃於氫氣工廠端增設專用回收管線系統，捕捉經燃燒或反應後排放的尾氣，導入原料儲存槽集中收集，再藉由吸脫附塔移除殘留氫氣，並通過純化塔分離雜質、提升純度，最後生成電子級二氧化碳。

台積電指出，為使再生電子級二氧化碳達到半導體製程嚴格的高純度標準，台積電輔導供應商在生產階段建立完善的品質保證證明機制，確保每批次產品均符合規範。

此外，台積電亦提供專業技術支援，包括協助供應商進行尾氣成分分析與純度檢測，並引導調整純化過程中的操作參數，提升分離效率及氣體純度。

台積電還協助供應商優化廠區產線運作與槽車沖吹標準以降低雜質風險，並透過現場稽核檢視生產管理流程，全面精進供應商技術能力與品質控管水準。（編輯：張均懋）1150529