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ASML台灣2奈米設備研發計畫過關 經部補助2.85億

2023/6/1 10:12(6/1 10:39 更新)
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經濟部通過艾司摩爾(ASML)2奈米晶圓光學量測設備研發製造計畫,總經費9.5億元。(路透社)
經濟部通過艾司摩爾(ASML)2奈米晶圓光學量測設備研發製造計畫,總經費9.5億元。(路透社)
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(中央社記者劉千綾台北1日電)半導體設備大廠艾司摩爾(ASML)擴大在台投資,經濟部核定通過艾司摩爾2奈米晶圓光學量測設備研發製造計畫,總經費為新台幣9.5億元。經濟部指出,ASML在台推進2奈米設備是全球首創,同時可提升本土供應鏈量能。

經濟部表示,核定通過艾司摩爾「下世代晶圓量測設備研發夥伴計畫」,計畫總經費為9.5億元,其中,經濟部補助2.85億元,占總經費30%,計畫執行期間為2年。

「下世代晶圓量測設備研發夥伴計畫」聚焦2奈米晶圓光學量測設備研發製造,經濟部官員表示,艾司摩爾選擇在台研發全球唯一的2奈米量測設備,2奈米設備未來將進駐艾司摩爾的林口新廠生產,相關的晶圓精密定位平台等核心技術也會在台灣落地。

經濟部官員表示,希望艾司摩爾投資能帶動台灣供應鏈,雙方磋商期間,經濟部在推薦合作廠商時花費較多時間討論,最終艾司摩爾同意將自給率提高至35%、增加6家台灣供應商,以及在台採購金額拉高至每年72億元。

經濟部官員表示,艾司摩爾選擇加大力道投資台灣,主因為台灣有供應鏈系統支持,並且接近半導體客戶和供應商,透過技術合作可提升本土供應鏈量能。(編輯:楊凱翔)1120601

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