清大採用AI技術 助晶圓廠冰機節電

（中央社記者魯鋼駿新竹市24日電）科技部人工智慧製造系統研究中心領導國立清華大學，利用AI和大數據分析技術，預估降溫用的冰水主機何時該開啟或關閉，甚至提醒何時要檢測設備，以達節能效益。

半導體、面板廠因為要維持恆溫的製造環境，冰水主機是重要設備，但耗電量佔整個廠務系統耗電大宗。國立清華大學在科技部人工智慧製造系統研究中心主任簡禎富領導下，利用AI和大數據分析技術即時預測晶圓廠冷卻需求變化，精準配置冰機運作。

簡禎富說，這個技術能分析冰機設備運轉大數據，預估各冰水主機的健康狀況和所能供應的冷凍噸，以優化開關冰機配置組合的最佳決策，使各冰機運作在最佳效率區間，滿足冷凍噸的需求。

簡禎富指出，當設備有潛在運轉風險時，系統會提早預警，產生精準調度建議給廠務人員要開啟或關閉哪一台冰機、哪幾台冰機需要提早檢視設備狀況，滿足冷凍噸需求和優化運轉效益，以達到節能，提高人力和設備效能，避免人員經驗差異所造成的決策不一致。

旺宏電子副總經理陳瑞坤表示，旺宏電子於今年2月導入冰機節能技術，廠務系統連結清大開發的AI演算法，每日早、晚各給出一次開關機決策建議，截至5月底止，已經驗證具體執行成效顯著。

陳瑞坤表示，透過這項技術可在既有節電措施上再提昇0.36%效能，以目前月產能約2萬片晶圓推估，一年可降低碳排放量385噸，約相當於一座大安森林公園1年碳吸附量。（編輯：陳政偉/孫承武）1070624

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