艾司摩爾EUV機台出貨台客戶

（中央社記者張建中台北3日電）半導體設備廠艾司摩爾(ASML)亞太區技術行銷協理鄭國偉表示，第3代極紫外光(EUV)機台已出貨6台；其中，台灣地區至少出貨1台。