台灣團隊開發光電半導體雷射製程 能耗減半降低碳排
（中央社記者張璦台北4日電）協助製造業強化製程優化能力，在國科會支持下，國立清華大學動力機械工程學系教授李明蒼團隊，針對光電半導體產品開發出「雷射低碳製造技術」，大幅縮短製程工序時間及材料成本，經量測，除使能耗減半、降低碳排量，亦具備靈活製程與設備整合彈性。
國科會今天在學術成果系列記者會中表示，此研究團隊包括國立清華大學、國立台灣大學及國家儀器科技研究中心等單位成員，專長涵蓋雷射加工、機械力學、人工智慧（AI）、化工材料、光學及光機電系統設計整合。
在團隊密切合作之下，成功開發適用於「金屬薄膜」及「透明導電薄膜」圖樣化鍍膜的專利技術；團隊說明，所開發的雷射鍍膜及圖樣化技術可在常壓常溫下進行，並將原本多道工序縮減為一次工序即可完成圖樣化，大幅降低製程所造成的能源消耗及碳排放，經量測統計，能耗降低量約有50%。
應用方面，團隊表示，此技術可用於三維電子半導體元件、軟性光電半導體元件及矽光子元件等極具未來市場價值的產品製造，例如透明顯示裝置、溫控光學鏡片及精準健康醫療用的個人化穿戴式裝置等。
同時，團隊指出，目前開發完成的鍍膜材料與製程所製作的金屬微細導線電阻率，等同甚至優於其他相似製程，透明金屬氧化物導電膜的光電性質也已達到商用水準。
團隊進一步表示，反應溶液採用對生物環境較為友善的溶劑與還原劑，具綠色製程的優勢；將團隊開發的技術結合智慧化的自動光學檢測技術，亦可用於線路或元件修復，進一步降低光電半導體與印刷電子製造產業的成本與碳排放。
研究團隊強調，將持續探索創新低碳與智慧化加工技術的藍海，為護國神山群的永續及綠色製造注入活水。
國科會指出，半導體、光學、電子相關產業鏈是台灣的護國神山群，環境永續為全球重要議題，先進製造產業的低碳淨零，更是迫在眉睫的挑戰，且台灣是半導體製造產業的世界領導者，半導體製造關鍵設備的國產自主化持續是重要後盾，低碳精準智慧製造技術與系統創新研發動能及概念，亦將帶動台灣半導體設備產業發展。（編輯：張均懋）1140604
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