經部開發奈米級量測技術 確保台灣半導體維持領先
（中央社記者曾筠庭台北21日電）為配合半導體科技持續進化，經濟部標準局同步升級先進校正量測技術應用，包括「開發奈米級量測技術」，不僅協助晶片產業掌握關鍵尺寸，增進效能，也能確保材料純度，目前已支援2奈米及埃米等級先進製程，同時超前部署量子科技相關量測設備。
標準檢驗局今天舉辦「精準量測技術支持產業、守護民生」記者會，標準局局長陳怡鈴表示，度量衡標準對民眾而言就像空氣般無所不在，平時不易察覺，卻是日常生活與產業發展的基礎，標準局肩負建置與維運國家最高測量標準的責任，從民生所需到高科技產業的精準量測，都是核心工作。
在先進校正與量測技術方面，工研院量測中心執行長藍玉屏指出，台灣半導體產業早期多參考國際大廠量測模式，但隨著產業躍升至全球領先地位，部分先進製程不適合委由國外量測，國家實驗室的角色因此更加關鍵。
標準局表示，國家度量衡標準實驗室已開發X-ray關鍵尺寸量測系統與SuperSizer線上監測系統，可掌握晶片關鍵尺寸並確保材料純度，大幅提升國內半導體良率，目前已支援2奈米及埃米等級先進製程，並隨產業藍圖持續推進，同時超前部署量子科技相關量測設備。
除半導體外，標準局也將量測技術應用於再生能源領域，透過聲音結合AI技術，可在風力發電機不停機狀態下完成葉片檢測，巡檢時間由原本約30分鐘縮短至5分鐘，速度提升6倍，且準確率達9成以上，有助大幅降低風機維運成本。
陳怡鈴指出，相關技術目前已應用於台電陸域風機，由於海上環境雜音較多，尚未能直接使用於離岸風電，但若未來技術克服相關限制，標準局也樂意投入離岸風電運維應用。
另外，也開發機械類領域「自校型溫度感測器」，可免拆機直接線上校正，由12天縮短為30分鐘，以及研發「數位式線軌調校技術」，工具機傳統線軌組裝調校時間將由90分鐘縮短為30分鐘。
標準局統計，為協助產業升級，每年透過「國家度量衡標準實驗室」提供超過5000件標準校正服務，將最高量測標準傳遞至2200家校正檢測實驗室，支援各產業領域400萬件檢測服務，創造新台幣200億元檢測產值。
在強化民生應用方面，標準局表示，目前已制定22項必須檢定的法定度量衡器，包含電表、水表、瓦斯表、磅秤、計程車表、酒測器、加油槍及測速儀等，相關器具須於進口或出廠前完成檢定，才能進入市場使用，目前每年檢定量超過400萬具。針對使用中的度量衡器，標準局每年進行市場檢查及購樣逾6萬具，確保貼有「同」字印證的器具皆符合準確性與可靠性。
標準局強調，未來將持續讓國家量測標準與國際接軌，深化前瞻量測技術研發，透過精準量測奠定科技與產業發展基石，打造全民可信賴的生活環境。（編輯：潘羿菁）1150121
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