艾司摩爾獲23台EUV訂單 金額創史上新高紀錄

（中央社記者張建中新竹16日電）半導體微影設備廠艾司摩爾（ASML）極紫外光（EUV）系統接單暢旺，第3季接獲23台EUV系統訂單，創下史上單季訂單金額新高紀錄。

艾司摩爾表示，在EUV方面有穩定的進展，客戶推出第一個由EUV製造的晶片，並被應用在終端裝置中，第3季完成7台EUV系統出貨。

邏輯和記憶體晶片客戶都積極將EUV系統導入晶片量產，艾司摩爾指出，第3季接獲23台EUV系統訂單，單季訂單金額並創下歷史新高。

晶圓代工廠台積電日前宣布，導入EUV微影技術的強效版7奈米製程第2季開始量產，良率與7奈米製程相當接近，並已協助客戶產品大量進入市場。

艾司摩爾第3季營運表現符合預期，營收30億歐元，毛利率43.7%，淨利6.27億歐元。艾司摩爾預期，年底前記憶體客戶需求將持續強勁，第4季營收將達39億歐元，毛利率約48%至49%。（編輯：張良知）1081016

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