台積電節水控制系統 拚年省38萬噸水及1533萬度電

（中央社記者張建中新竹31日電）台積電針對晶圓傳送盒清洗機台開發節水控制系統，今年8月成功導入晶圓12B廠、18A廠，民國111年將全面導入國內12吋廠，目標每年節省38萬噸純水及1533萬度電。

台積電表示，今年上半年全台水電供應嚴峻，內部積極尋找機台的節水省電機會點，發現晶圓傳送盒清洗機台因以直接式開關的水閥進行運轉，透過不間斷輸出熱水以確保水溫穩定，於未運作期間仍需持續供水。

為提高用水效率，台積電的智能工程中心、晶圓12B廠與供應商分析清洗機台的能耗及運轉參數，共同研發漸進式開關的水閥，依據機台使用狀態自動控制熱水輸出流量多寡，當機台未運作時，即以漸進方式減少供水，不僅有效省水，亦能同時節電。

台積電指出，節水控制系統已列為新建廠區晶圓傳送盒清洗機台的標準設施，既有的國內12吋晶圓廠區預計於111年第2季前完成系統更新，屆時預估每年將節省38萬噸純水及1533萬度電。

為更擴大節能效益，台積電將進一步開發晶圓傳送盒清洗機台的熱水回收循環系統，預計於110年第4季進行評估作業，持續朝機台節能最大化的目標努力。

隨著技術種類的多樣性及檔案容量與日俱增，為使客戶輕鬆取得產品設計所需的技術文件，台積電推出智慧化技術文件導航系統，並開放雲端下載服務，截至今年8月，有效減少70%客戶技術文件查詢時間，文件下載速度提升5至12倍。（編輯：張均懋）1100831

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