台積電攜手供應商減廢　年減TMAH廢液387公噸

（中央社記者張建中新竹31日電）台積電南京廠攜手供應商精進廢液處理與減廢效率，針對四甲基氫氧化銨（TMAH）廢液處理，經過2年半運作，年減TMAH廢液387公噸，節省處理費用約新台幣1670萬元。

台積電在新出爐的ESG（環境、社會責任、公司治理）電子報中表示，TMAH是半導體黃光製程的關鍵化學品，廢液需經樹脂塔吸附四甲基銨陽離子，再透過鹽酸脫附後轉化為四甲基氯化銨（TMAC）。

為友善環境並強化減廢效率，台積電南京廠務部於民國113年與供應商合作改良系統控制邏輯程式，整合樹脂塔自動氣洗與反洗功能，並透過強陽樹脂與弱陽樹脂性能對比分析優化吸附流程，使汙染物去除率達99%，系統處理流量增幅2倍。

此外，藉由測試與調整鹽酸濃度及用量操作參數，進一步提高再生TMAC濃度，達到減廢及節省處理費用的雙重成效。台積電指出，經過2年半運作，樹脂使用壽命由8個月延長至30個月，再生的TMAC濃度由10%提升至12.3%，年減TMAC廢液387公噸，並節省處理費用約1670萬元。

為增進供應商永續績效，台積電114年啟動「關鍵供應商廢水排放監督強化方案」，針對425家關鍵原物料供應商展開調查，篩選出15家高風險供應商進行實地查核，共提出140項改善建議，至115年7月，改善完成率達85.7%。

台積電還將輔導經驗轉化為公共財，於環安衛相關論壇分享廢水管理常見缺失及改善做法，引領供應鏈共好轉型。

為深化前瞻研究並落實學用合一，台積電於115年5月捐贈高解析穿透式電子顯微鏡（TEM）予國立清華大學材料科學工程學系，將高階研發資源由博士研究延伸至碩士及大專生，賦能年輕學子提早投入TEM實作，向下扎根實務育才能量，並建立「整備與移機」系統化流程，確保儀器零落差啟用。（編輯：張均懋）1150731