林本堅當選中研院士 台積電同歡

（中央社記者張建中新竹4日電）晶圓代工廠台積電研發副總經理林本堅當選中研院院士，台積電表示，為林本堅能獲選為國家級院士感到高興。

中研院第30屆院士出爐，林本堅成為首位非學者當選院士的業界人士。

台積電同仁得知林本堅當選中研院院士消息後，直呼「好讚」。

台積電表示，林本堅在微影領域有非常重大成就，為他能獲選國家級院士感到高興。

林本堅1963年畢業於台大電機系，隨後赴美國俄亥俄州立大學深造，獲電機碩士與博士學位。

林本堅曾任IBM研發部經理、美商領創總經理，2000年加入台積電，曾任台積電奈米製像技術發展處資深處長，目前擔任台積電研發副總經理。

林本堅最受人稱道的是，他發明了浸潤式微影技術，以水當成微影介質，是半導體業的創舉，讓半導體製程得以順利推進65奈米以下世代。

林本堅不僅對半導體產業發展有重大貢獻，也是台積電先進製程技術得以穩居領導地位的功臣之一。林本堅除獲選為美國國家工程師院士，也於去年獲選為工研院院士。1030704

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