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中芯採購ASML設備 美制裁似對成熟製程鬆綁

最新更新:2021/03/04 16:59
中芯國際3日宣布,耗資12億美元向艾司摩爾(ASML)採購晶片生產設備。(中新社提供)中央社記者沈朋達傳真 110年3月4日
中芯國際3日宣布,耗資12億美元向艾司摩爾(ASML)採購晶片生產設備。(中新社提供)中央社記者沈朋達傳真 110年3月4日

(中央社記者沈朋達上海4日電)中芯國際昨天宣布,耗資12億美元向艾司摩爾(ASML)採購晶片生產設備。據報導,中芯採購的是較舊的DUV(深紫外光)光刻機。美國的科技制裁似乎對成熟製程略有鬆綁。

路透社報導,荷蘭的半導體設備商艾司摩爾(ASML )3日指出,將延長和中國半導體廠中芯國際的銷售協議到2021年底。

中芯國際也公布,耗資12億美元(約新台幣333億元)向ASML購買晶片生產設備。公告稱,雙方原先的協議是2018年至2020年底,現延長至2021年底。

報導引述ASML的聲明指,本次採購涉及DUV(深紫外光)光刻機這種較舊的技術。

陸媒資本邦也引述資深業內人士表示,中芯可採購到除了EUV(極紫外光)以外幾乎所有的光刻機。

光刻機是半導體生產的重要設備,而ASML生產的EUV光刻機被認為擁有最先進技術,是推進先進製程的關鍵設備。

美中科技戰開打後,美國曾在2018年遊說荷蘭,荷蘭官方隨後也暫緩簽發ASML對中國的EUV光刻機出口許可,此舉重挫中芯探索先進製程的進度。

在EUV光刻機禁運中國後,ASML曾於2020年底在上海的中國國際進口博覽會上,展示號稱能用於7奈米以上先進製程的DUV光刻機。但陸媒科技新報指出,DUV用於先進製程的生產良率仍無法與EUV相比。

中芯2020年底延攬台積電前營運長蔣尚義擔任副董事長,當時有報導指,中芯是想借重蔣尚義和ASML協調取得EUV光刻機。

但路透社報導指出,截至2月,荷蘭官方仍未批准EUV光刻機出貨中國的許可。中芯在先進製程的發展,依然受限。

市場對這次交易的分析呈現兩極。由於美國人工智慧國家安全委員會(NSCAI)日前建議美國和日本、荷蘭協調,拒絕向中國出口關鍵的晶片生產設備。因此路透社引述一名美國的半導體業高層表示,這項交易打臉了NSCAI,也顯示在這個議題上與盟邦存在鴻溝。

不過報導又引述一名與美國總統拜登(Joe Biden)政府關係密切的知情人士表示,美國更在意的,是和中國下一輪的新科技競逐。

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無獨有偶,陸媒日前披露,中芯獲得部分美國設備商有關14奈米及以上成熟製程的供貨許可;但10奈米以下的先進製程供貨許可仍受美國限制。

美國商務部2020年12月指中芯存在與「中國軍工集團重要實體活動的證據」,將它列入黑名單,不得銷售10奈米及以下製程的技術給中芯。不過,美國商務部也指出,容許在獲許可的前提下,銷售部分晶片的生產設備、原料給中芯,顯見相關制裁仍聚焦於先進製程。(編輯:吳柏緯)1100304

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