AI淨零／台積電EUV動態省電　能耗估年減8%

（中央社記者張建中新竹30日電）台積電今天表示，與供應商合作推動「EUV動態節能計畫」，經實測產線設備每年能源消耗可望減少8%，預計至2030年可累積節電1.9億度，相當於減碳10.1萬公噸。

台積電在新出爐的ESG（環境、社會責任、公司治理）電子報中指出，2024年起與設備供應商合作啟動節能計畫，成功將極紫外光（EUV）微影設備瞬間電能消耗降低44%。

此外，台積電並依據廠內生產需求與產線自動化系統導入相關處理機制，不僅有效降低能源消耗，同時兼顧產能穩定，實現環保的綠色生產流程。

台積電指出，今年9月已陸續導入晶圓15B廠、晶圓18A廠及晶圓18B廠，今年底將全面導入海內外所有EUV設備，並列為新建廠區標準設計，預計至2030年可累積節電1.9億度，相當於減碳10.1萬公噸，達到節能與產能並重的雙重效益。

台積電表示，除EUV微影設備動態節能外，亦評估導入深紫外光（DUV）設備及微影製程應用以外的模組設備，進一步提升整體生產的能源使用效率，擴大節能範疇。

台積電還針對無塵室內輸送空氣的風機過濾組，攜手供應商在不改變尺寸及運轉需求的前提下，成功優化風機結構，將運轉效率由55%提升至60%以上，經實測單一廠區平均年省156萬度電、減少805公噸二氧化碳當量。

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台積電表示，今年9月這技術已導入晶圓20廠第1期與第2期廠區、晶圓22廠第1期與第2期廠區、先進封測7廠第1期廠區，共計約4.4萬台。

台積電並攜手供應商研發「冷卻液回收技術」，將原本需報廢的製冷機冷卻液進行過濾與純化，再次回用於半導體製程，不僅降低廢棄物委外處理量，亦減少供應商運輸新液過程產生的碳排放。目前回收冷卻液已成功導入部分台灣廠區12吋晶圓廠使用，預估年減碳約4萬公噸。（編輯：楊蘭軒）1140930

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