AI淨零／台積電攜清洗商導入雷射量測系統　數位檢測減廢

（中央社記者張建中新竹30日電）晶圓代工廠台積電攜手零配件清洗商導入雷射定位量測系統，以非接觸式雷射取代實體治具，提升先進製程零配件檢測的精準與潔淨度，同時達到減廢成效，至今年6月有4家供應商導入，估計可減少約600個治具使用。

台積電在新出爐的ESG（環境、社會責任、公司治理）電子報中表示，半導體零配件的清洗品質攸關晶圓良率，為防範結構微損或分子殘留可能導致的製程風險，零配件於清洗後須經過量測驗證，檢測尺寸規格、微塵及粗糙度等項目，確保在無損且無污染狀態下精準回裝機台。

台積電統計，每年約有260萬個零配件送洗，並有3500萬筆量測資料。

因應先進製程的嚴格要求，為強化清洗廠商的品質管理能力，台積電於2025年推動雷射定位量測方法，輔導清洗廠商於既有量測平台整合先進定位技術，透過雷射精準校對量測點位，提升零配件尺寸檢測準確性，同步維持量測過程中的潔淨度。

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此外，突破單一規格專用治具的限制，將量測流程轉型為「一機多用」的數位化通用平台。台積電表示，雷射點位量測範疇估計可涵蓋約90%的零配件，至今年6月，已有4家零配件清洗商導入系統，減少約600個實體治具使用。

台積電另與財政部關務署及新竹、中部、南部科學園區管理局合作推動「通關無紙化專案」，修訂法規簡化貨物通關流程，並擴大至全國逾1200家保稅業者，同時，導入電子物流指示器，結合內部開發平台實現貨物即時定位，提升運輸安全及品質。估計年減177萬張用紙及1700小時作業工時。（編輯：楊凱翔）1150630