台積電打造物聯網節能系統 全年效益拚5.2億

（中央社記者張建中新竹31日電）台積電致力實踐綠色製造，與應用材料及附屬設備供應商打造物聯網智慧節能控制系統，預計未來每年可省電8200萬度，創造新台幣5.2億元的節能效益。

台積電表示，半導體晶圓製造過程中會使用不同的製程氣體，一般位於非生產區的附屬設備皆以固定全載方式運轉。

為提高能源使用效率，台積電於民國105年攜手供應商開發及導入「iSystem物聯網智慧節能控制系統」，做為生產機台與附屬設備之間的對接橋樑。

根據半導體設備通訊標準讀取生產機台的ECID/SVID，獲得製程氣體實際使用狀態，再依照附屬設備運轉穩定性與去除效率驗證所定義的控制參數，即時對附屬設備下達對應的指令，可依生產機台使用的製程氣體，同步自動調變運轉參數與能耗以達成節能效果。

除了節能模式，台積電與供應商進一步開發附屬設備的睡眠模式與休息模式，當生產機台於較長時間未運轉時，可節省更多能耗。台積電並持續優化附屬設備運轉控制層級及其參數，提升能源使用效率，並降低氮氧化物（NOx）產生，達到節能與環保的雙重效益。

為更系統化落實節能行動並確保成效，台積電109年將ISO 50001能源管理系統導入iSystem，根據iSystem收集附屬設備的能耗資料，建立能源績效指標與能源基線，自動計算節能量。

台積電內部資訊技術單位同時開發建置iSystem異常管理系統與節能報表系統，以利更精準掌握能源使用量，並進一步計畫將能耗資料儲存於雲端，透過AI人工智慧與機器學習技術自動偵測、即時通報能源使用異常狀況，也可藉由大數據分析獲得最佳的運轉操作參數，極大化能源使用效率。

台積電已將iSystem物聯網智慧節能控制系統導入晶圓15B廠80種製程、588台生產機台所屬的2351台真空幫浦、805台現址式尾氣處理系統，年度省電1340萬度、減少1萬3800公噸碳排放量，創造8500萬元的節能效益。

為擴大節能效益與使用範圍，台積電亦尋求與其他半導體設備供應商合作，所有製程及生產機台的附屬設備皆計畫導入智慧節能機制。

除晶圓15B廠持續進行應用開發與建置外，台積電晶圓18廠也於110年開始導入，並將逐步推展至台灣廠區所有12吋晶圓廠，預計未來每年可省電8200萬度、減少8萬4600公噸碳排放量，創造5億2000萬元的節能效益，持續朝碳中和與淨零碳排放的永續目標邁進。

台積電統計，109年內部執行460項節能措施，有效節電5億度，此外，透過開發領先全球的高效節能半導體技術，協助客戶生產更據能源效益的產品，經由工研院產科國際所模型分析，台積電每使用1度生產用電，能為全球節省4度電。

台積電指出，參酌美國節能經濟委員會（ACEEE）的研究成果，發現經濟發展與電力使用同步成長的趨勢，可因電子產品的導入與智慧產品的應用而產生脫勾，即透過資訊與通信科技加值各行業的生產力，讓相同的資源（電力等）投入獲得更多產出。

當進一步分析以半導體為核心的電子產品應用，台積電表示，119年約可幫助全球節電10.7%，約當3.27兆度電；倘若考量半導體占電子產品比例及台積電的市場占有率，台積電為客戶生產的產品將於119年幫助全球節電1700億度，大約為生產用電的4倍以上。（編輯：楊凱翔）1100531

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