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浸潤式微影之父 林本堅蝸居鞋盒辦公室作育人才

2022/9/11 11:01(9/11 20:11 更新)
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辦公桌、櫃子、沙發,幾乎將整個空間塞滿,連一個窗戶也沒有,宛如鞋盒般大小的空間,這是清華大學半導體學院院長林本堅的辦公室。中央社記者謝佳璋攝 111年9月11日
辦公桌、櫃子、沙發,幾乎將整個空間塞滿,連一個窗戶也沒有,宛如鞋盒般大小的空間,這是清華大學半導體學院院長林本堅的辦公室。中央社記者謝佳璋攝 111年9月11日
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(中央社記者潘姿羽、張建中台北11日電)辦公桌、櫃子、沙發,幾乎將整個空間塞滿,屋內沒有對外窗,宛如鞋盒般大小的空間,很難相信這是外界譽稱台積電「研發6騎士」之一的林本堅目前在清華大學半導體學院的辦公室。

清大半體學院去年剛成立,學院大樓還在興建中,林本堅只好暫時窩在沒有窗戶的簡陋辦公室,昔日業界同僚來訪時驚訝直呼「你怎麼在鞋盒裡辦公?」林本堅卻不以為意。

專訪當天,他興致勃勃向中央社記者展示他放在電腦前,自製的護眼投影幕;這位被譽為「浸潤式微影之父」的大師,眼中流露的盡是科學家發明的熱情。

他20年前在台積電擔任研發處長時,以浸潤式微影技術,成功把摩爾定律推進6個世代;20年後,產業面臨空前的人才困境,80歲的林本堅再次扛下重擔,出任清大半導體學院院長,成為台灣護國神山群的堅強後盾。

被譽為半導體界愛因斯坦的他,是美國國家工程學士、中研院院士,更是學術界公認的神級人物,為何不像其他台積電退休高層,周遊列國享福,卻要親自出馬做這樣吃力的工作?他僅淡淡地說「我覺得這好像是我應該做的事情。」

一身簡單幹練的灰色襯衫配上卡其色長褲,他接受中央社團隊專訪時,眼神清亮,沒有嚴厲高管氣勢,反倒像是他的暱稱「Burn爺爺」般,渾身散發溫暖、智慧的氣質。

「Burn爺爺」在台積電地位崇高,他和前資深研發處長梁孟松、楊光磊、前營運長蔣尚義、前技術長孫元成、前研發副總經理余振華等6人,被譽為台積電研發6騎士。

林本堅是越南僑生,靠著優秀的研究頭腦,一路讀書都很順遂,高三時回台灣新竹中學唸書,短短一年後,無需僑生加分即考取台大電機系。大學畢業後赴美國求學,在俄亥俄州立大學取得博士,畢業後即被IBM研究中心延攬,在IBM一待就是22年,隨後退休自行創業。

沒想到,美國創業9年後,他的人生在57歲那年迎來大轉彎。

●50人團隊壯大至700人 林本堅悟出職場管理心法

林本堅在IBM工作時創下無數輝煌紀錄,期間帶領研發團隊發明出許多世界第一的專利,而後自己創業、成立領創(Linnovation,意為Lin+Innovation);領創進入第9年後,在台積電前共同營運長蔣尚義大力延攬之下,林本堅返回台灣、加入台積電擔任資深研發處長。

加入台積電,並不在林本堅人生計劃裡,究竟要不要放棄美國38年的生活回台灣,讓他一度陷入掙扎。身為虔誠基督徒的林本堅,最終遵從他口中「神的旨意」。

林本堅2000年加入台積電,到他2015年退休時,台積電經歷飛躍式成長,他的微影研發部門數由當年的50人增加到700人。談及這段過往,林本堅在自傳「把心放上去」裡寫下「神的道路高過我的道路」。

他在台積電任職期間發明的「浸潤式微影技術」,最終讓業界放棄在乾式技術投資逾10億美元,並且被艾司摩爾(ASML)看重及採用,自此展開台積電與ASML攜手並進的半導體全新世代。

隨著浸潤式微影技術成為顯學,整個業界157奈米的開發正式停止,取而代之是浸潤式的193奈米;193奈米第一個導入的製程是45奈米,台積電就此拉大領先聯電的距離,而後製程推進到7奈米,更將勁敵英特爾(Intel)甩在後頭,確立台積電晶圓代工霸主的地位。

林本堅在自傳裡提到,他在台積電任職時一度打算在2010年退休,蔣尚義一再挽留,他開出的條件是,如果要他留下,董事長張忠謀和蔣尚義都必須接受他傳教。

蔣尚義答應了,也向張忠謀報告林要留下的交換條件,張不置可否,後來林本堅送了張忠謀一本相關的書。林也被外界稱為唯一一個敢向張忠謀傳教的台積人。

從老長官蔣尚義的角度看林本堅,他曾這麼形容「不但技術上是第一把手,同時也是很優秀的管理人才」。

林本堅帶領的微影研發團隊能夠從50多人擴充到700多人,成為全世界最領先的微影技術研發部門;除了他在微影領域有傲人成就,另一關鍵就是他奉行「互尊、互助、互信」的職場管理法則。

被問及職場管理有何感悟,林本堅分享,父母與孩子的相處之道,其實也適用於職場管理;父母親望子成龍,慣於挑剔孩子的毛病,反而忽略鼓勵的重要性;職場也有同樣情況,主管常忘記鼓勵員工。

年輕人常常被業界前輩叨唸懶惰、吃不了苦,林本堅對於這些「職場前輩」也有話說。

林本堅表示,多數年輕人都喜愛打電玩,工作相對之下沒那麼有趣,年輕人應轉換思維,讓工作變得更有意義,才有動力去做,主管也應給予協助,並時常稱讚、鼓勵。

林本堅的管理哲學,讓他在台積電備受愛戴,也因此得到Burn爺爺這個稱號。

●成就非一人獨有 林本堅不提台積電叛將談互尊

職場不只上下屬之間應互相尊重,員工與公司、同僚相處更是如此。

林本堅談起「互尊、互信、互助」的職場心法時,他將「互尊」放在首位,不僅是尊重他人,更要尊重他人的成就,以及環境給予的幫助。

高科技產業相當注重技術研發,要求員工簽署競業條款屢見不鮮,晶圓代工龍頭大廠台積電自然不例外;然而,台積電主管級員工離職後跳槽敵營,遭控洩漏營業秘密的情況不算少見,最著名的案例就是前台積電研發大將梁孟松,他也是林本堅昔日同僚。

回想起剛進台積電時,林本堅發現台積電很怕人把機密帶出去,覺得很奇怪,因為對他而言,不把機密帶出去應該是很合理的事。

林本堅表示,有些人認為研發成果是一己之力達成,並視為自身資產,但他們忽略如果公司沒有給予足夠的發揮空間、環境,後面的成果談何而來?假如有人對外洩漏營業秘密,這不僅不尊重同僚、更是不尊重公司的行為。

林本堅強調,公司要能正向發展,團隊合作絕對是重中之重,主管也要謹記「互尊」的重要性,才能凝聚各路人才的長處,發揮最大戰力。

興趣是攝影、篤信基督教,創造出浸潤式微影方式,改寫全球半導體發展,人生的三道光成為今年80歲的林本堅最精采的寫照;如今轉換跑道到校園作育英才,自比是聖經中85歲時主動請纓出戰亞衲族人的「迦勒」,要讓扮演台灣護國神山的半導體產業繼續發光。(編輯:林淑媛)1110911

(中央社製圖)
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